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產(chǎn)品名稱：離子源
產(chǎn)品型號(hào)：根據(jù)客戶圖紙
產(chǎn)品展商：ACHEMETAL
產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

洛陽愛科麥難熔金屬有限公司擁有車、銑、刨、磨、電加工、加工中心等各種設(shè)備，可按用戶要求加工各種離子注入用機(jī)用離子源的鎢鉬及其它金屬元件，并組合成整體離子源成品。

產(chǎn)品描述

離子注入是現(xiàn)代集成電路制造中的一種非常重要的技術(shù)，其利用離子注入機(jī)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體的摻雜，即使用鎢絲作為陰極發(fā)射電子轟擊含有特定的雜質(zhì)元素的氣體分子，產(chǎn)生電離的特定雜質(zhì)原子經(jīng)靜電場(chǎng)加速后打到硅單晶圓片表面，并打入半導(dǎo)體內(nèi)部，改變導(dǎo)電特性并*終形成晶體管結(jié)構(gòu)。

由于在離子源發(fā)射離子轉(zhuǎn)換為電漿離子時(shí)，會(huì)產(chǎn)生2000℃以上的工作溫度，離子束噴發(fā)時(shí)，也會(huì)產(chǎn)生很大的離子動(dòng)能，一般金屬會(huì)很快燒熔，因此需要質(zhì)量密度較大的惰性金屬，以維持離子束噴發(fā)方向，并增加組件耐用度，鎢鉬是必選材料。由于鎢鉬材料高溫化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、熱變形小和使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，因此半導(dǎo)體行業(yè)離子注入機(jī)離子源組件及耗件多采用鎢、鉬材料制造，這些器件包括發(fā)射電子陰極的屏蔽筒、發(fā)射面板、中心固定桿、起弧室內(nèi)的絲極板等。

離子注入離子源所用鎢鉬材料經(jīng)過對(duì)傳統(tǒng)鎢鉬材料工藝進(jìn)行優(yōu)化，包括細(xì)晶化、合金化處理，真空燒結(jié)和熱等靜壓燒結(jié)致密化，二次晶粒細(xì)化控軋技術(shù)，普遍提高傳統(tǒng)鎢鉬材料的壽命、耐高溫及抗蠕變性能。

我公司生產(chǎn)的離子源用鎢鉬零件晶粒度細(xì)化，相對(duì)密度≥99%，高溫力學(xué)性能指標(biāo)比普通鎢材料明顯提高，使用壽命也明顯延長(zhǎng)。